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          工業磷酸廠家帶你了解電子級磷酸檢測小知識

          信息來源:www.fuzhou8.com | 發布時間:2020年09月02日

          工業磷酸廠家帶你了解電子級磷酸檢測小知識,高隆磷化工專業生產五氧化二磷多聚磷酸等產品,電子級磷酸屬于電子化學品檢測種類之一。在電子工業中,尤其是超大規模集成電路、大屏幕液晶顯示屏等微電子工業領域,電子用磷酸可以用于清洗和蝕刻等工藝的加工??梢哉f說磷酸的純度、質量、指標等都直接關系到電子生產企業的產品成品率、電性能、可靠性,或者是屏幕最后的質量表現。

          一、電子級磷酸用途分析
          1、用于基片涂膠前的清洗
          2、用于光刻過程中的蝕刻及后去膠;
          3、用于硅片本身制作過程中的清洗及絕緣膜蝕刻、半導體膜蝕刻、 導體膜蝕刻、 有機材料蝕刻等
          二、電子級磷酸制備工藝
          1、用高純磷制備電子級磷酸的工藝
          2、用高純三氯化磷制備電子級磷酸的工藝
          3、用三氯氧磷制備電子級磷酸的工藝

          三、電子級磷酸提純工藝
          化學沉淀法
          有機溶劑萃取法
          溶劑沉淀法
          結晶法(冷凍結晶法、熔融結晶法)
          濃縮凈化法
          離子交換法
          電滲析法

          四、電子級磷酸質量等級
          E1為普通電子級磷酸
          E2為高純電子級磷酸

          五、電子級磷酸檢測標準
          GB/T 28159-2011 電子級磷酸

          六、電子級磷酸檢測項目
          1、磷酸質量分數檢測
          2、易氧化物質量分數檢測
          3、陰離子檢測項目:硝酸鹽含量、硫酸鹽含量、氯化物含量
          4、金屬離子元素檢測項目:鋁、硼、銻、砷、鋇、鎘、鈣、鈷、銅、鎵、金、鐵、鉛、鋰、鎂、錳、家、鎳、銀、鈉、錫、鍶、鈦、鋅
          5、顆粒的測定
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